1、真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)
2、真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度單位
通常用托(Torr)為單位,近年國(guó)際上取用帕(Pa)作為單位。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
4、托與帕的轉(zhuǎn)換
1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托
5、平均自由程
作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子,相繼兩次碰撞所飛越的平均距離,用符號(hào)“λ”表示。
6、流量
單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量,符號(hào)用“Q”表示,單位為帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。
7、流導(dǎo)
表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒(L/s),在穩(wěn)定狀態(tài)下,管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。 U=Q/(P2- P1)
8、壓力或壓強(qiáng)
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力,用“P”表示。
9、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓,符號(hào):(Atm)。
10、極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后,穩(wěn)定在某一真空度,此真空度稱為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣,再經(jīng)12小時(shí)抽真空,最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次,取其10次的平均值為極限真空值。
11、抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下,單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率,簡(jiǎn)稱抽速。即Sp=Q/(P-P0)
12、熱偶真空計(jì)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。
13、電離真空計(jì)(又收熱陰極電離計(jì))
由筒狀收集極,柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成,筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
14、復(fù)合真空計(jì)
由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成,測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。
15、冷陰極電離計(jì)
陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板,在外加磁場(chǎng)作用,陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子,根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
16、電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理,通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。
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